光學3D輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。
光學3D輪廓儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、高校科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。
光學3D輪廓儀的產品功能:
樣件測量能力:滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質等所有類型樣件表面的測量;
自動測量功能:自動單區域測量功能、自動多區域測量功能、自動拼接測量功能;
編程測量功能:可預先配置數據處理和分析步驟,結合自動測量功能,實現一鍵測量;
數據處理功能:提供位置調整、去噪、濾波、提取四大模塊的數據處理功能;
數據分析功能:提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。其中粗糙度依據ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度;幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能;結構分析包括孔洞體積和波谷深度等;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能;功能分析包括SK參數和體積參數等功能。
批量分析功能:可根據需求參數定制數據處理和分析模板,針對同類型參數實現一鍵批量分析;
更多訪問:
http://www.jccetou.com/Products-35801209.html
https://www.chem17.com/st462222/erlist_2239934.html
光學3D輪廓儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、高校科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。
光學3D輪廓儀的產品功能:
樣件測量能力:滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質等所有類型樣件表面的測量;
自動測量功能:自動單區域測量功能、自動多區域測量功能、自動拼接測量功能;
編程測量功能:可預先配置數據處理和分析步驟,結合自動測量功能,實現一鍵測量;
數據處理功能:提供位置調整、去噪、濾波、提取四大模塊的數據處理功能;
數據分析功能:提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。其中粗糙度依據ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度;幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能;結構分析包括孔洞體積和波谷深度等;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能;功能分析包括SK參數和體積參數等功能。
批量分析功能:可根據需求參數定制數據處理和分析模板,針對同類型參數實現一鍵批量分析;
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